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        1. 產品詳情
          • 產品名稱:單溫區旋轉PECVD石墨烯制備系統

          • 產品型號:
          • 產品廠商:成越科儀
          • 產品文檔:
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          簡單介紹:
          單溫區旋轉PECVD,安裝有真空自動投料器,爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進料,可以以額定的速率將粉料送入爐管,投料速率可通過調節轉速來更改??蓪崿F在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用PECVD方法進行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環境下對處理好的料粉進行收集。 設備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面,有效的增強反應效果,提高反應速率,這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學實驗上。 本設備特別適合顆粒型樣品實驗,通過機械傳動能夠控制工作管360°不間斷連續旋轉,轉速可調,使得管內物料不斷的被攪拌混合,充分與氣體和等離子體接觸,使樣品的反應更加均勻穩定。
          詳情介紹:

          射頻電源

           

          輸出功率

          150W

           

          輸出精度

          ±1%

           

          射頻頻率

          13.56MHz

           

          射頻穩定度

          ±0.005%

           

          冷卻方式

          風冷

          1200溫區管式爐

          供電電壓

          AC220V,50Hz

           

          *大功率

          2KW

           

          加熱溫區

          單個溫區200mm

           

          工作溫度

          *高1200℃,連續運行溫度應≤1100℃

           

          控溫精度

          ±1℃

           

          控溫方式

          AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條

          三溫區獨立控制,帶有過熱和斷偶保護

           

          爐管材質

          高純石英

           

          爐管尺寸

          φ50x800mm

           

          密封方式

          真空不銹鋼法蘭、KF16法蘭

           

          可調轉速

          0-20rpm

           

          傾斜角度

          0-15°

           

          真空泵

          旋片機械泵

           

          極限真空度

          1.0E-1Pa

           

          進料方式

          真空漏斗加螺桿進料

          豫公網安備 41019702002438號

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