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        1. 產品詳情
          • 產品名稱:PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備

          • 產品型號:CY-PECVD-R
          • 產品廠商:成越科儀
          • 產品文檔:
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          簡單介紹:
          本產品為PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備。PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。
          詳情介紹:

          旋轉PECVD 

          本產品為等離子增強回轉化學氣相沉積系統(旋轉PECVD),爐管采用變徑設計,中部管徑較粗且有有混料隔板,能夠隨著爐管的旋轉將粉體或者顆粒反復混合,通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉,使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果;設備另配有等離子發生裝置,采用電感耦合與爐管連接,產生的等離子能夠滿布爐管,有效的提高反應物活化能,降低反應溫度,提高反應效率。設備配有三路質量流量計及混氣裝置,可用于向路管內通入多種氣體,同時設備配有高性能機械泵,能夠快速將爐管抽至真空;通過泵和氣路的配合可以實現多種CVD工藝。旋轉裝置十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。

          技術參數

          雙溫區管式爐

          產品型號

          CY-O1200-60IIC-R

          設備功率

          3KW

          爐管材質

          高純石英

          爐管尺寸

          Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm(石英異型管)

          爐膛長度

          440mm

          加熱區長

          200mm+200mm

          工作溫度

          0~1150℃

          極限溫度

          1200℃

          控溫精度

          ±1℃

          熱電偶類型

          K型熱電偶

          控溫模式

          30段程序控溫,PID參數自整定

          顯示模式

          高清全彩LCD觸控屏

          密封方式

          304不銹鋼真空法蘭

          供電電源

          AC:220V 50/60Hz  

          旋轉速度

          0~13rpm

          傾斜角度

          0~35°

          3路質量流量計

          產品型號

          CY-3Z

          氣路數量

          3路

          流量計類型

          質量流量計

          測量范圍

          A路:0~100sccm; B路:0~200 sccm; C路:0~500 sccm

          測量精度

          ±1.5%

          工作壓差

          0.1~0.5MPa

          管路接口

          1/4英寸卡套接頭

          供電

          AC220V 50/60Hz

          真空系統

          真空泵

          雙極旋片泵

          抽速

          1.1L/s

          抽氣接口

          KF16

          泵極限真空度

          10E-1Pa

          供電

          AC220V 50/60Hz

          射頻電源

          信號頻率

          13.56MHz±0.005%

          功率輸出范圍

          0~500W

          *大反射功率

          100W

          射頻輸出接口

          50Ω,N-Type,female

          功率穩定度

          ≤5W


          豫公網安備 41019702002438號

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