<rp id="4vhiu"><object id="4vhiu"></object></rp>
    <nav id="4vhiu"><big id="4vhiu"><video id="4vhiu"></video></big></nav>
      <dd id="4vhiu"><center id="4vhiu"></center></dd>
      1. <nav id="4vhiu"><big id="4vhiu"></big></nav>
      2. <em id="4vhiu"></em><em id="4vhiu"></em>

        <th id="4vhiu"></th>

        <tbody id="4vhiu"></tbody>

        <span id="4vhiu"></span>
        <span id="4vhiu"></span>

        1. 產品詳情
          • 產品名稱:單靶直流磁控濺射鍍膜儀

          • 產品型號:CY-MSP300S-DC
          • 產品廠商:成越科儀
          • 產品文檔:
          你添加了1件商品 查看購物車
          簡單介紹:
          單靶直流磁控濺射鍍膜儀可用于制備單層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜等。該單靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備,特別適用于實驗室研究固態電解質及OLED等
          詳情介紹:

          單靶直流磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發的一款高性價比磁控濺射鍍膜設備,具有標準化、模塊化、可定制化的特點。磁控靶有1英寸2英寸3英寸可以選擇,客戶可以根據所鍍基板的大小自主選擇;所配電源為1500W大功率直流電源,可用于高能量的金屬濺射鍍膜,根據實驗需求也可以選配其他規格的直流或者射頻電源來實現各種材料的鍍膜操作。

           單靶直流磁控濺射鍍膜儀

          鍍膜儀具有兩路高精度質量流量計,客戶若另有需求可以定制至多四路質量流量計的氣路,以滿足復雜的氣體環境構建需求;儀器標配先進的渦輪分子泵組,極限真空可達1.0E-5Pa,同時另有其他類型的分子泵可供選購。分子泵的氣路由多個電磁閥控制,可以實現在不關泵的情況下打開腔體取出樣品,大大提高了您的工作效率。本產品可以選配一體機工控電腦對系統進行控制,在電腦程序上可以實現真空泵組的控制、濺射電源的控制等絕大多數功能,可以進一步提高您的實驗效率。

          單靶磁控濺射鍍膜儀適用范圍:

          該設備可用于制備單層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜等。該單靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備,特別適用于實驗室研究固態電解質及OLED等。

          單靶磁控濺射鍍膜儀技術參數:

          單靶直流磁控濺射鍍膜儀

          外形尺寸

          φ185mm

          加熱范圍

          室溫500

          可調轉速

          1-20rpm可調

          靶材平面

          圓形平面靶

          濺射真空

          10Pa0.2Pa

          靶材直徑

          5050.8mm

          靶材厚度

          25mm

          絕緣電壓

          >2000V

          電纜規格

          SL-16

          靶頭溫度

          65

          內壁處理

          電解拋光

          腔體尺寸

          φ300mm × 300mm

          腔體材料

          304不銹鋼

          觀察窗口

          石英窗口,直徑φ100mm

          開啟方式

          上頂開啟,氣缸輔助支撐

          流量控制

          質量流量計,量程0200SCCM氬氣

          調節閥類型

          電磁調節閥

          調節閥靜止狀態

          常閉

          測量線性度

          ±1.5%F.S

          測量重復精度

          ±0.2%F.S

          測量響應時間

          8秒(T95

          工作壓差范圍

          0.3MPa

          閥體耐壓

          3MPa

          工作環境溫度

          545)℃

          閥體材料

          不銹鋼316L

          閥體漏率

          1×10-8Pa.m3/s

          管道接頭

          1/4″卡套接頭

          輸入輸出信號

          05V

          供電電源

          ±15V(±5%)(+15V  50mA,  15V  200mA

          外形尺寸mm

          130(寬)×102(高)×28(厚)

          通訊接口

          RS485 MODBUS協議

          直流電源

          電源功率

          500W

          輸出電壓

          0600V

          定時長度

          65000

          啟動時間

          110

          電源要求

          DC:5V(±10%) *大電流 400mA

          分辨率

          ±0.03Hz(5-6MHz),0.0136? /測量()

          測量精度

          ±0.5%厚度+1計數

          測量周期

          100mS1S/次(可設置)

          測量范圍

          500,000 ? ()

          晶體頻率

          6MHz

          通訊接口

           RS-232/485串行接口

          顯示位數

          8LED顯示

          分子泵

          分子泵抽速

          80L/S

          額定轉速

          65000rpm

          振動值

          0.1um

          啟動時間

          4.5min

          停機時間

          <7min

          冷卻方式

          風冷

           

          冷卻水溫度

          37

          冷卻水流速

          1L/min

          安裝方向

          垂直±5°

          抽氣接口

          150CF

          排氣接口

          KF40

          前級泵

          抽氣速率

          1.1L/S(VRD-4)

          極限真空

          5×10-2Pa

          供電電源

          AC:220V/50Hz

          電機功率

          400W

          噪音

          56db

          抽氣接口

          KF40

          排氣接口

          KF25

          放氣閥

          真空腔體上裝有氣動電控放氣閥

          整機極限真空

          5×10-4Pa

          真空腔體升壓率

          2.5Pa/h

          軟件系統

          監控管理軟件1

          測試靶材

          直徑2英寸厚度3mm的銅靶材2


          豫公網安備 41019702002438號

          _成年午夜性视频_玩中年熟妇让你爽视频_久久电影网