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        1. 產品詳情
          所在位置: 首頁> 產品目錄> 培育鉆石>
          • 產品名稱:CVD培育鉆石設備

          • 產品型號:CY-MPCVD
          • 產品廠商:成越科儀
          • 產品文檔:
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          簡單介紹:
          CVD培育鉆石是一種由直徑10到30納米鉆石晶體合成的多結晶鉆石,它的化學成分為碳,運用先進的設備模擬大自然中鉆石生長環境,通過化學氣象沉積技術(CVD)栽種而成
          詳情介紹:

          CVD培育鉆石是一種由直徑10到30納米鉆石晶體合成的多結晶鉆石,它的化學成分為碳,運用先進的設備模擬大自然中鉆石生長環境,通過化學氣象沉積技術(CVD)栽種而成.

          MPCVD單晶金剛石沉積設備

          適合的應用:

          化學氣相沉積法制備高品質單晶金剛石

          化學氣相沉積法制備高品質多晶金剛石自支撐厚膜

          化學氣相沉積法制備高品質多晶金剛石薄膜

          化學氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和金剛石膜等各種碳納米薄膜

          產品特點:

           

          本產品為不銹鋼腔體式6kw微波等離子體設備,功率密度高;

          水冷式基片臺和水冷式金屬反映腔,保證系統能長時間穩定工作;

          基片溫度以微波等離子體自加熱方式達到;

          真空測量儀表采用全量程真空計,可**測量本底真空和工作氣體壓強;

          真空泵及閥門采用渦輪分子泵(極限真空為1×10-5Pa)和旋片式機械真空泵(極限真空為1Pa),系統可自動控制沉積氣壓;

          配備冷卻水循環系統,確保裝置高功率下可長時間安全穩定運行;

          系統帶15寸觸摸屏,PLC自動控制,可設置溫度或氣壓恒定,可保存復用多達20套工藝文件;

          全自動工藝控制模塊,可以穩定可靠地制備高品質金剛石薄膜和晶體

          技術指標與特性:

          微波系統(法國Sairem 微波源)

          微波頻率

          2450±25MHz

          輸出功率

          0.6kw~6kw 連續可調

          微波調諧

          三銷釘調配器,模式轉換天線

          微波反射保護

          環形器,水負載

          微波工作模式

          TM013

          微波泄漏

          2 mw/cm2

          真空系統

          工作氣壓范圍

          10~250Torr

          自動穩壓范圍

          40~250Torr

          真空泵

          4.4L/s 旋片式真空泵

          系統漏率

          <1.0x10-9 Pa?m3 / (通過氦質譜檢漏儀檢測)

          腔體保壓能力

          24 小時壓升小于0.2

          本底極限真空

          0.1Pa7.5 x10-4 Torr)

          真空測量

          品牌薄膜規

          真空反應腔

          反應腔材料及結構

          雙層水冷不銹鋼反應腔

          真空密封

          金屬密封+氟膠圈密封(取樣門)

          反應腔內徑

          直徑140mm

          樣品臺窗口

          105x50mm 長方形端口,帶O 形氟橡膠圈密封的前門

          觀察窗口

          兩個端口,CF35 大口徑,180°分布

          測溫窗口

          兩個窗口水平角度25~30°,180°分布;窗口方便從反應腔上部的

          斜角向下檢測樣品臺的溫度

          樣品臺

          電動升降式水冷基片臺

          直徑100mm,高度可調范圍070mm

          鉬基片臺直徑50mm,在5000w, 180Torr 工作狀態,等離子體火球可覆蓋

          整個基片臺

          基片臺溫度 2501400℃(取決于工藝參數)

          氣路

          選用日本進口流量計及流量控制閥

          系統自帶四路MFC

          四路MFC *大流速:H2: 1000sccm,CH4100sccm,O220sccm,N22sccm

          測溫系統

          德國Raytek 紅外測溫系統,測溫范圍:300~1300 攝氏度

          系統軟件

          配置PLC 控制的15“觸摸顯示屏,用戶操作界面友好,所有操作均可在觸摸

          屏上完成

          系統支持工程師和操作員兩個用戶級別,提供用戶權限管理功能

          系統自帶缺水,缺氣,電源缺相,火球跳變,過溫過載,打火等自動保護

          可設置多達10 套工藝配方,每套配方有40 行數據,生產流程通過工藝配方自

          動控制,工藝數據可通過U 盤備份導出

          系統自帶全自動抽氣,點火,升溫,降溫等預設流程,用戶操作簡便

          全自動溫度控制,氣壓控制,極大減輕系統操作員的工作量



          豫公網安備 41019702002438號

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